1.硬件上的定的宗最是不同:
微孔孔径分析,需要二级涡轮分子泵,氮气相对压力P/P0才能够达到10-6的要求,才能实现超微孔(0.3石什营督脱展稳小低5nm-0.7nm承批识穿吃季罗)的精确分析;同时,需来自要小量程、高精度报验较再粉扬裂议电某压力传感器(10torr、1torr或0.1torr)的合理使用。介孔、大孔孔径分析,仅需要机械泵及1000t360问答orr大量程压力消误月一如迅传感器即可实现。
2.软件上的不同:
微孔孔径分析,理论也关模型一般使用的是HK法、SF法,及DFT法。介孔、大孔孔径分析,理论模型一般使用的是BJH法。