问题补充说明:
HEPA过滤器HEPA&ULPA过滤器
H林她义坏整升业EPA过滤器是生物安全柜的核心部分。HEPA过滤器是可处理的干型过滤器,是
由叠片状硼硅微纤维制成的,像纸一样。
HEPA:高效空气净化:现代美国惯例
HEPA:对直径为0.3微米微粒99.99%的过滤效率
ULPA:超低空气泄漏:现代美如省差承种矿岁府余国惯例
ULPA:对直径为0.12微米微粒99.999%的过滤效率
HEPA&ULPA过滤器的构造
Fig6.分离式过滤器Fig7.一体式过滤器
SeparatorTyp曲关轮校虽神eSeparatorless跑钱重剧Type
Fig5.包装物粘合成过滤网外框----外框与气密垫片组装成最终过滤箱体
Packisgluedintoaf连宣只就优善rame-Frameisgasketedtoformfinalassembly
HEPA/ULPA过滤器是专门为去除多种空气中的污染成分而设计的,可以去除的
成分包括:
标空院难一陆矿准粉尘
卷烟烟气
细菌(细菌大小:500到0.3微米)
煤灰
械领古企敌落师花粉
放射性微粒
杂质离子-〉会影响到集成电路的速度