近年来,市场上山现了各种不同设计的干式真空泵。这些设计包括各种螺杆式、旋片式和多级爪式。这些新技术(或已有技术的改进)随着国际上对环保要求的提高得到厂较快的发展,传统的油润滑真空设备(如旋片泵)和液环真空泵的设计已经不能满足减少污染物的要求。
为适应市场的需求,Sterling SIHI,在1997年研制成功SIHldry的原型。SIHIdry是世界上第一台真正意义上的干式真空泵,它能满足流程工业中最苛刻的要求,该产品荣获德国“1998年年度技术革新奖”。
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